日本株式會社KELK是制作超純水加熱器、精密溫度控制器的專業(yè)廠家，原名日本小松制作所（KOMATSU），有55年的研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)。

與日本CREEN公司及其他半導(dǎo)體設(shè)備公司合作，KELK的超純水加熱器被廣泛應(yīng)用于FPD、半導(dǎo)體、鋰電池、太陽能電池的清洗生產(chǎn)線中，

憑借著技術(shù)，受到了美國、歐洲、中國臺灣和韓國等地著名半導(dǎo)體工廠的青睞。

超純水加熱器PWH-i系列是KELK的最新產(chǎn)品，量產(chǎn)始于2007年，加熱用石英組件、純水循環(huán)回路等關(guān)鍵配件均在無塵實(shí)驗(yàn)室完成，采用高效高壽命的鹵素?zé)艚t線加熱方式，實(shí)現(xiàn)無污染、無損害、高效率加熱，主要用于清洗半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線上的硅晶片和液晶制造生產(chǎn)線上的玻璃基板。

產(chǎn)品主要特征

１. 清潔

加熱部的容器采用高純度石英，配管采用氟樹脂材料，加熱過程潔凈、無雜質(zhì)、無污染。

２. 體積纖巧

采用超薄型纖巧設(shè)計(jì)，大大節(jié)省了置放空間。

３. 高性能溫度調(diào)節(jié)

采用高功率輸出的鹵素?zé)?，可?shí)現(xiàn)快速升溫并根據(jù)流量變化來調(diào)節(jié)溫度。

４. 高效率

加熱效率達(dá)95%以上。

５. 安全

具備對應(yīng)過高溫、干燒及漏夜等異常現(xiàn)象的安全功能及報(bào)警功能。

主要用途 

1. 清洗硅晶片。

2. 清洗液晶玻璃基板。

3. 可代替其他用氟利昂清洗的溫純水清洗