ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵   羅茨泵  PMB100D  PMB300D  PMB600D  PMB1200D  PMB2400D

特點

通過安裝空冷逆變器，可在整個壓力范圍內(nèi)進行空冷運作。

可選多電壓電機（200V級，多電壓）

與通用電機兼容，因此也可以安裝防爆電機（選件）。

表面處理，具有優(yōu)異的耐腐蝕性（選項：T型）

主要部件采用陽極氧化鋁處理，具有高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，并可防止泵內(nèi)部的劃傷和腐蝕。

大氣壓驅(qū)動型（選件：變頻器）有效減少排氣時間

可以與粗抽泵同時啟動，與標(biāo)準型相比，可以減少排氣時間。

用途

蒸著、濺射、離子電鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析設(shè)備、檢漏設(shè)備

氣體置換、充填、真空隔斷

熱處理爐、溶解爐

其他各種真空設(shè)備

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化學(xué)品：SHINETSU信越化學(xué)、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學(xué)MITSUI、KONISHI小西

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